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機床部件加工的低溫化學熱處理進程，為了進步模具的抗蝕性、耐磨性、抗熱疲憊和防粘附性能，可采用離子滲氮。離子滲氮的杰出長處是明顯地縮短了滲氮時刻，可通過不同氣體組份調節控制滲層組織，下降了滲氮層的表面脆性，變形小，滲層硬度散布曲線較平穩，不易產生脫落和熱疲憊。

可滲的基體材料比氣體滲氮廣，無毒，不會爆炸，出產安全，但對外形復雜模具，難以獲得均勻的加熱和均勻的滲層，且滲層較淺，過渡層較陡，溫度測定及溫度均勻性仍有待于處理。離子滲氮其滲層厚度以0.2～0.3mm為宜。磨損后的離子滲氮模具，經修正和再次離子滲氮后，可重新投進運用，從而可大大地進步模具的總運用壽命。

離子滲氮溫度以450～520℃為宜，經處理6～9h后，滲氮層深約0.2～0.3mm。溫度過低，滲層太薄；溫度過高，則表層易呈現疏松層，下降抗粘模才能。